VR彩票华为新专利公开 能提高晶圆对准效率、精度
栏目:行业动态 发布时间:2023-12-20
 VR彩票官方网站近日国家知识识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“晶圆处理装置和晶圆处理方法”的专利获批,公开号CN117219552AVR彩票,申请日期为2022年6月。专利摘要显示VR彩票,本公开的实施例涉及晶圆处理装置和晶圆处理方法。  晶圆处理装置包括:晶圆载台,晶圆载台可沿旋转轴线旋转;机械臂,包括机械手,用于搬运晶圆并将晶圆放置在晶圆载台上;控制器;以及校准组件VR彩票。 

  VR彩票官方网站近日国家知识识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“晶圆处理装置和晶圆处理方法”的专利获批,公开号CN117219552AVR彩票,申请日期为2022年6月。专利摘要显示VR彩票,本公开的实施例涉及晶圆处理装置和晶圆处理方法。

  晶圆处理装置包括:晶圆载台,晶圆载台可沿旋转轴线旋转;机械臂,包括机械手,用于搬运晶圆并将晶圆放置在晶圆载台上;控制器;以及校准组件VR彩票。

  包括:光栅板,相对于晶圆载台固定;光源,相对于光栅板固定;以及成像元件,固定设置在机械臂上VR彩票,并且适于接收从光源发出的、透过光栅板的光。

  其中,控制器被配置成基于成像元件对接收到的光的检测,控制机械臂或机械臂上的调整装置来调整晶圆的位置。

  在晶圆载台承载晶圆的情况下VR彩票,光栅板和成像元件分别位于晶圆载台的上表面所在平面相对两侧,上表面用于承载晶圆。

  据悉,截至2022年底,华为持有超过12万项有效授权专利,主要分布在中国VR彩票、欧洲VR彩票、美洲、亚太、中东和非洲。

  其中VR彩票,华为在中国和欧洲各持有4万多项专利,在美国持有22000多项专利。

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